| Montag 13. Sept. |
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Themenkreis |
Dünne Schichten, Leitung: R. Dorka |
| 10:00 |
Prof. K. Wetzig |
Begrüßung |
| 10:20 |
M. Köster |
Analyse dünnster Schichten am Beispiel galvanischer Chromüberzüge mit Dicken zwischen 30 und 300 nm |
| 10:40 |
R. Hübner |
GDOES-Tiefenprofilanalysen zur Untersuchung der thermischen Stabilität und Versagensmechanismen von Ta-basierten Diffusionsbarrieren für die Cu-Metallisierung |
| 11:00 |
C. Venzago |
Ultraspurenanalytik an Si-Schichten als Schicht- und Tiefenprofilanalysen |
| 11:20 |
Th. Brixius |
Aktuelle Aktivitäten des VDEh-Arbeitskreises Chemische Charakterisierung technischer Oberflächen |
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Themenkreis |
Grundlagen, Leitung: V. Hoffmann |
| 12:00 |
D. Fliegel |
Parameter, die die Leistungsfähigkeit der gepulsten GD-ToF-MS für die qualitative Analyse chemischer Spezies beeinflussen |
| 12:20 |
P. Smid |
Optische Emissionsspektren von Metall-Nitriden in der Grimmschen Glimmentladung |
| 12:40 |
E.B.M. Steers |
Untersuchungen von Grimmschen Glimmentladungen bei sehr hoher Auflösung |
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Firmenpräsentationen |
Leitung: C. Vogt |
| 14:00 |
Ch. Deraed |
Jobin Yvon; Neue Entwicklungen in der RF-GD-OES erweitern den Bereich der Anwendungen |
| 14:20 |
H. Lehmkämper |
Neue Entwicklungen bei LECO |
| 14:40 |
M. Analytis |
Spectruma Analytik; Neuentwickelte, hochauflösende CCD-Optik für die GD-OES |
| 15:30 |
Posterdiskussion |
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| 16:00 |
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Laborführung, Besprechung der EW-GDS-Leitung |
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| Dienstag 14. Sept. |
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Themenkreis |
Sputterraten, Leitung: Th. Asam |
| 09:00 |
W. Verscharen |
Geometrie des Sputterprozesses - Sputtergeschwindigkeit |
| 09:20 |
J. Koglin |
Innovative optische Oberflächenmesstechnik |
| 09:40 |
M. Hermenau |
Auswertung wichtiger Parameter aus 3D-Tiefenprofilmessungen an GD-OES Sputterkratern |
| 10:00 |
Diskussionsrunde |
Standardisierung und Dünne Schichten |
| 11:00 |
Besprechung |
Kooperation zwischen Industrie und Forschungseinrichtungen / laufende bzw. beabsichtigte Projekte
Weitere Aktivitäten / nächstes Anwendertreffen
Leitung des Anwenderkreises
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| 13:00 |
A. Bengtson |
Vortrag auf der AOFA 13, Ort: Hörsaalzentrum der TU Dresden, Bergstraße 64 |
| Poster |
L. Wilken |
Glimmentladungsquelle mit integrierter Hochfrequenz-Messtechnik zur Auswertung charakteristischer Entladungseigenschaften |
| Poster |
V.-D. Hodoroaba |
Erste Ergebnisse bei der Suche nach geeigneten Kandidaten für die Herstellung von CRM für die Bestimmung von Wasserstoff in Festkörpern |
| Poster |
N.C.W. Kuijpers |
Die Bestimmung der Nitrierschichtdicke von Antriebsriemenringen mittels GDS |
| Poster |
M. Stangl |
Quantitativer Nachweis organischer Verunreinigungen auf und in elektrochemisch abgeschiedenen Kupferschichten mittels RF-GD-OES und TGHE |
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